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応用物理

科 目	応用物理	区 分	工学部共通選択科目群
授業コード	13350	開設セメスター	5S
曜日・時限	金/78	単位数	2単位
担当者名	小林　和彦

授業の概要

主に真空蒸着法を使った薄膜の研究をはじめようとする場合の、真空装置と薄膜作製及び薄膜の性質の基本について述べる。図、絵等を使い、実験・実習を含め分かりやすく説明する。

授業計画	テーマ	内 容
第1回目	真空の話し	真空、蒸着の基礎
第2回目	蒸着の話し
第3回目	真空蒸着法
第4回目	真空装置
第5回目	薄膜の作製法
第6回目	膜厚の測定法
第7回目	薄膜の構造
第8回目	金属薄膜
第9回目	誘電体薄膜
第10回目	薄膜の力学的性質
第11回目	薄膜の電気的性質I
第12回目	薄膜の電気的性質II
第13回目	薄膜の光学的性質
第14回目	直流回路
第15回目

使用テキスト	改訂版　物理学基礎／原　康夫著／学術図書出版社／２０６０円
参考文献	薄膜／金原粲、藤原英夫著／裳華房／５５００円
成績評価方法	数回のレポート提出により評価する。
履修条件等

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